AL120-12

AL120-12晶圆搬送机详细介绍：

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。

人机工程学设计，操作方便
•可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
•分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。

专用宏观照明装置

为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式 高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合，实现了300 mm晶圆的冷光源照射。